Дәйектеу үшін:

Рысқалиева М.М., Құсайынова А.З., Ешанов А., Жирков И.В., Ахадов Ж.З., Сұлтанов А.Т., Бейсенханов Н.Б. МАГНЕТРОНДЫ ТОЗАҢДАТУ ӘДІСІМЕН ШӨКТІРІЛГЕН КРЕМНИЙДІҢ ЖҰҚА ҚАБЫҚШАЛАРЫНЫҢ КРИСТАЛДАНУ ПРОЦЕСІНЕ СПИН-КОАТИНГ ӘДІСІМЕН ЖАҒЫЛҒАН ФОСФОР-СИЛИКАТТЫ ӘЙНЕКТІҢ ӘСЕРІН ТАЛДАУ. Қазақстан-Британ техникалық университетінің хабаршысы. 2026;23(3):486-497. https://doi.org/10.55452/1998-6688-2026-23-3-486-497

For citation:

Ryskaliyeva M.M., Kusainova A.Z., Eshanov A., Zhirkov I.V., Akhadov J.Z., Sultanov A.T., Beisenkhanov N.B. ANALYZING THE EFFECTS OF SPIN-COATED PHOSPHOSILICATE GLASS ON THE CRYSTALLIZATION PROCESS OF SILICON THIN FILMS DEPOSITED VIA MAGNETRON SPUTTERING. Herald of the Kazakh-British Technical University. 2026;23(3):486-497. (In Russ.) https://doi.org/10.55452/1998-6688-2026-23-3-486-497