Для цитирования:

Рыскалиева М.М., Кусаинова А.З., Эшанов А., Жирков И.В., Ахадов Ж.З., Султанов А.Т., Бейсенханов Н.Б. АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ФОСФОРОСИЛИКАТНОГО СТЕКЛА, НАНЕСЕННОГО МЕТОДОМ СПИН-КОАТИНГА, НА ПРОЦЕСС КРИСТАЛЛИЗАЦИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК КРЕМНИЯ, ОСАЖДЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ. Вестник Казахстанско-Британского технического университета. 2026;23(3):486-497. https://doi.org/10.55452/1998-6688-2026-23-3-486-497

For citation:

Ryskaliyeva M.M., Kusainova A.Z., Eshanov A., Zhirkov I.V., Akhadov J.Z., Sultanov A.T., Beisenkhanov N.B. ANALYZING THE EFFECTS OF SPIN-COATED PHOSPHOSILICATE GLASS ON THE CRYSTALLIZATION PROCESS OF SILICON THIN FILMS DEPOSITED VIA MAGNETRON SPUTTERING. Herald of the Kazakh-British Technical University. 2026;23(3):486-497. (In Russ.) https://doi.org/10.55452/1998-6688-2026-23-3-486-497