Дәйектеу үшін:

Муратов М.М., Зайцев С.И., Пшиков М.И., Гусейнов Н.Р., Немкаева Р.Р., Мухаметкаримов Е.С., Төлепов Ж.К., Ахметсадык Д.С. ТЕРЕҢДІК БОЙЫМЕН ЭНЕРГИЯНЫҢ БІРКЕЛКІ БӨЛІНБЕУІ ЖАҒДАЙЫНДА ЭЛЕКТРОНДЫ-СӘУЛЕЛІК ЛИТОГРАФИЯДАҒЫ РЕЗИСТ КОНТРАСТЫН АНЫҚТАУ. Қазақстан-Британ техникалық университетінің хабаршысы. 2025;22(3):280-289. https://doi.org/10.55452/1998-6688-2025-22-3-280-289

For citation:

Muratov M.M., Zaitsev S.I., Pshikov M.I., Guseinov N.R., Nemkayeva R.R., Mukhametkarimov Ye.S., Tolepov Zh.K., Akhmetsadyk D.S. DETERMINATION OF RESIST CONTRAST IN ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY UNDER DEPTH-DEPENDENT NONUNIFORM ENERGY DEPOSITION. Herald of the Kazakh-British Technical University. 2025;22(3):280-289. https://doi.org/10.55452/1998-6688-2025-22-3-280-289