Для цитирования:

Муратов М.М., Зайцев С.И., Пшиков М.И., Гусейнов Н.Р., Немкаева Р.Р., Мухаметкаримов Е.С., Толепов Ж.К., Ахметсадык Д.С. ОПРЕДЕЛЕНИЕ КОНТРАСТА РЕЗИСТА В ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ЛИТОГРАФИИ ПРИ НЕОДНОРОДНО ОСАЖДЕННОЙ ЭНЕРГИИ ПО ГЛУБИНЕ. Вестник Казахстанско-Британского технического университета. 2025;22(3):280-289. https://doi.org/10.55452/1998-6688-2025-22-3-280-289

For citation:

Muratov M.M., Zaitsev S.I., Pshikov M.I., Guseinov N.R., Nemkayeva R.R., Mukhametkarimov Ye.S., Tolepov Zh.K., Akhmetsadyk D.S. DETERMINATION OF RESIST CONTRAST IN ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY UNDER DEPTH-DEPENDENT NONUNIFORM ENERGY DEPOSITION. Herald of the Kazakh-British Technical University. 2025;22(3):280-289. https://doi.org/10.55452/1998-6688-2025-22-3-280-289