Для цитирования:

Рахимова A.Ж., Жирков И.В., Нусупов К.Х., Бейсенханов Н.Б., Султанов А.Т. ВЛИЯНИЕ ПОТОКА КИСЛОРОДА НА ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ITO, СИНТЕЗИРОВАННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ. Вестник Казахстанско-Британского технического университета. 2023;20(4):109-117. https://doi.org/10.55452/1998-6688-2023-20-4-109-117

For citation:

Rakhimova A.Zh., Zhirkov I.V., Nussupov K.Kh., Beisenkhanov N.B., Sultanov A.T. Effect of oxygen flow on electrical and optical properties of ITO films synthesized by magnetron sputtering method. Herald of the Kazakh-British technical university. 2023;20(4):109-117. https://doi.org/10.55452/1998-6688-2023-20-4-109-117