Дәйектеу үшін:

Рахимова А.Ж., Жирков И.В., Нусупов К.Х., Бейсенханов Н.Б., Султанов А.Т. ОТТЕГІ АҒЫНЫНЫҢ МАГНЕТРОНДЫ БҮРКУ АРҚЫЛЫ СИНТЕЗДЕЛГЕН ITO ҚАБЫРШАҚТАРЫНЫҢ ЭЛЕКТРЛІК ЖӘНЕ ОПТИКАЛЫҚ ҚАСИЕТТЕРІНЕ ӘСЕРІ. Қазақстан-Британ техникалық университетінің хабаршысы. 2023;20(4):109-117. https://doi.org/10.55452/1998-6688-2023-20-4-109-117

For citation:

Rakhimova A.Zh., Zhirkov I.V., Nussupov K.Kh., Beisenkhanov N.B., Sultanov A.T. Effect of oxygen flow on electrical and optical properties of ITO films synthesized by magnetron sputtering method. Herald of the Kazakh-British technical university. 2023;20(4):109-117. https://doi.org/10.55452/1998-6688-2023-20-4-109-117