Для цитирования:

Батрышев Д.Г., Әбдірахманов А.Р., Буфенди Л., Оразбаев С.А., Байқалиев А., Рамазанов Т.С. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА РОСТА НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ТОНКИХ СЛОЕВ НИТРИДА УГЛЕРОДА В РАДИОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЕ ГАЗОВОЙ СМЕСИ АЗОТ-МЕТАН. Вестник Казахстанско-Британского технического университета. 2026;23(3):448-460. https://doi.org/10.55452/1998-6688-2026-23-3-448-460

For citation:

Batryshev D.G., Abdirakhmanov A.R., Boufendi L., Orazbayev S.A., Baikaliyev A., Ramazanov T.S. STUDY OF GROWTH EVALUATION OF NANOSTRUCTURED CARBON NITRIDE THIN LAYERS IN NITROGEN-METHANE GAS MIXTURE RADIOFREQUENCY PLASMA. Herald of the Kazakh-British Technical University. 2026;23(3):448-460. (In Russ.) https://doi.org/10.55452/1998-6688-2026-23-3-448-460