Для цитирования:

Кейінбай С., Нусупов К.Х., Султанов А.Т., Тысченко И.Е., Эшанов А.Ф., Бейсенханов Н.Б. ВЛИЯНИЕ ОТНОШЕНИЯ РАСХОДОВ ГАЗОВ N₂/Ar И МОЩНОСТИ МАГНЕТРОНА НА ПЛОТНОСТЬ И СТЕХИОМЕТРИЧЕСКИЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TIN_X, СИНТЕЗИРОВАННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ. Вестник Казахстанско-Британского технического университета. 2024;21(3):302-313. https://doi.org/10.55452/1998-6688-2024-21-3-302-313

For citation:

Keiinbay S., Nussupov K.Kh., Sultanov A.T., Tyschenko I.E., Eshanov A.P., Beisenkhanov N.B. INFLUENCE OF THE RATIO OF GASE CONSUMPTION N₂/Ar AND MAGNETRON POWER ON THE DENSITY AND STOICHIOMETRIC COMPOSITION OF TIN_X FILMS SYNTHESIZED BY MAGNETRON SPUTTERING METHOD. Herald of the Kazakh-British technical university. 2024;21(3):302-313. (In Russ.) https://doi.org/10.55452/1998-6688-2024-21-3-302-313