БЕЙПОЛЯРЛЫ ГАЗДЫ АНЫҚТАУҒА АРНАЛҒАН БЕТІ ӨЗГЕРТІЛГЕН КЕУЕКТІ КРЕМНИЙЛІ ГАЗ СЕНСОРЛАРЫНЫҢ СЕЗУ ӨНІМДІЛІГІ

 Газ датчиктері – өнеркәсіптік және экологиялық бақылаудың әртүрлі қосымшаларындағы маңызды құрылғылар. Толуол мен хлороформ – әртүрлі жану процестерінде пайда болатын және ауаның ластануымен, тыныс алу органдарының ауруларымен байланысты зиянды бейполярлы газдар. Кеуекті кремний (КК) аммиак пен этанол газын анықтауға арналған материал ретінде перспективалы нәтижелерді көрсетті. Дегенмен, бейполярлық газды сезіну қолданбалары үшін олардың беттік қасиеттерін оңтайландыру арқылы оны одан әрі жақсарту мүмкіндігі бар. Химиялық өңдеу материалдардың, соның ішінде жартылай өткізгіштердің беткі сипаттамаларын әртүрлі қолданбалар үшін өзгертуде кеңінен қолданылды. Біз химиялық өңдеу арқылы КК бетіне никель (Ni) қабатын қойдық. Ni-тұндырылған КК үлгісінің бейполярлы толуол мен хлороформ буларының 0,1 ppm концентрациясына сезімталдығы КК-мен салыстырғанда тиісінше <1%-дан 39%-ға және 32,6%-ға дейін жоғарылағаны анықталды. Бұл зерттеу қоршаған орта мен өнеркәсіптік қолданбалар үшін алдыңғы қатарлы зондтау технологияларын дамытуға айтарлықтай әсер етуі мүмкін газ датчиктерінің өнімділігін арттыру үшін бетті модификациялау әдістері туралы құнды түсініктерді береді.

1. Chang T.Y., Singh A.K., Shao J.H., Huang C.Y., Shieh J.M., Wuu D.S., Horng R.H. (2023) Performance improvement of MOCVD grown ZnGa2O4 based NO gas sensors using plasma surface treatment, Applied Surface Science, v. 637, p. 157929.

2. Li Y., Chen H., Li H., Liu C., Li J., Chen Q., Gu M. (2023) Ultra-high sensitivity methane gas sensor based on vernier effect in double D-shaped and cryptophane-A film-coated photonic crystal fiber: Design and FEM simulation, Results in Physics, p. 106840.

3. Phanichphant S. (2014) Semiconductor metal oxides as hydrogen gas sensors, Procedia Engineering, v. 87, рр. 795–802.

4. Molleman B., Alessi E., Krol D., Morton P.A., Daly K. (2022) Application of metal oxide semiconductor for detection of ammonia emissions from agricultural sources, Sensing and Bio-Sensing Research, v. 38, p. 100541.

5. Krishna K.G., Parne S., Pothukanuri N., Kathirvelu V., Gandi S., Joshi D. (2022) Nanostructured metal oxide semiconductor-based gas sensors: A comprehensive review, Sensors and Actuators A: Physical, v. 341, p. 113578.

6. Jemli M., Abdouli B., Khezami L., Ben Rabha M. (2023) Study of porous silicon layer effect in optoelectronics properties of crystalline silicon, Phosphorus, Sulfur, and Silicon and the Related Elements, pp. 1–6.

7. Thomas T., Kumar Y., Ramón J.A.R., Agarwal V., Guzmán S.S., Reshmi R., Sanal, K.C. (2021) Porous silicon/αMoO3 nanohybrid based fast and highly sensitive CO2 gas sensors, Vacuum, v. 184, p. 109983.

8. Khaniyev B., Ibraimov M., Sagidolda Y., Tezekbay Y., Duisebayev T., Tileu A., Khaniyeva A. (2023) The Improved Non-Polar Gas Sensing Performance of Surface-Modified Porous Silicon-Based Gas Sensors, Coatings, v. 13, no. 1, p. 190. 9 Sun X., Sharma P., Parish G., Keating A.( 2021) Enabling high-porosity porous silicon as an electronic material //

9. Microporous and Mesoporous Materials, v. 312, p. 110808.

10. Khaniyev B.A., Sagidolda Y., Dikhanbayev K.K., Tileu A.O., Ibraimov M.K. (2020) High sensitive NH3 sensor based on electrochemically etched porous silicon, Cogent Engineering, v. 7, no. 1, p. 1810880.