Дәйектеу үшін:
НҮСІПОВ К.Х., БЕЙСЕНХАНОВ Н.Б., СҰЛТАНОВ А.Т., ТЫСЧЕНКО И.Е., ҚҰСАЙЫНОВА А.Ж., БҰҒЫБАЙ З.К., ЫСҚАҚ К.М. RCA ХИМИЯЛЫҚ ӨҢДЕУДЕН КЕЙІН ЖЫЛДАМ ТЕРМИЯЛЫҚ КҮЙДІРУ АРҚЫЛЫ ӨСІРІЛГЕН SіO2 ҚАБЫРШАҚТАРДЫҢ ПАССИВАЦИЯЛЫҚ ҚАСИЕТТЕРІН ЖАҚСАРТУ. Қазақстан-Британ техникалық университетінің хабаршысы. 2022;19(2):29-38. https://doi.org/10.55452/1998-6688-2022-19-2-29-38
For citation:
NUSSUPOV K.K., BEISENKHANOV N.B., SULTANOV A.T., TYSCHENKO I.E., KUSAINOVA A.Z., BUGYBAI Z.K., YSKAK K.M. IMPROVEMENT OF THE PASSIVATION PROPERTIES OF SiO2 FILMS, GROWN BY THE METHOD OF RAPID THERMAL ANNEALING, AFTER CHEMICAL RCA TREATMENT. Herald of the Kazakh-British technical university. 2022;19(2):29-38. (In Russ.) https://doi.org/10.55452/1998-6688-2022-19-2-29-38