Дәйектеу үшін:

Жумадилов Б.Е., Мархабаева А.А., Габдуллин М.Т. Ti ЖӘНЕ Ti/КНҚ ТӨСЕМДЕРІНДЕ RF МАГНЕТРОНДЫ ШАШЫРАТУ АРҚЫЛЫ АЛЫНҒАН WS2 ЖҰҚА ҚАБЫҚШАЛАРЫ: ҚҰРЫЛЫМДЫҚ СИПАТТАМА ЖӘНЕ СБР ӨНІМДІЛІГІ. Қазақстан-Британ техникалық университетінің хабаршысы. 2026;23(3):422-433. https://doi.org/10.55452/1998-6688-2026-23-3-422-433

For citation:

Zhumadilov B.Ye., Markhabayeva A.A., Gabdullin M.Т. RF MAGNETRON SPUTTERED WS2 THIN FILMS ON TI AND TI/CNWS SUBSTRATES: STRUCTURAL CHARACTERIZATION AND HER PERFORMANCE. Herald of the Kazakh-British Technical University. 2026;23(3):422-433. (In Russ.) https://doi.org/10.55452/1998-6688-2026-23-3-422-433