Для цитирования:

Рягузов А.П., Әсембаева Ә.Р., Гусейнов Н.Г., Бекмурат Ф. О ТЕХНОЛОГИИ СИНТЕЗА ГИДРОГЕНИЗИРОВАННЫХ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ТОНКИХ ПЛЕНОК ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ. Вестник Казахстанско-Британского технического университета. 2025;22(2):322-332. https://doi.org/10.55452/1998-6688-2025-22-2-322-332

For citation:

Ryaguzov A.P., Assembayeva A.R., Guseinov N.R., Bekmurat F. ON THE TECHNOLOGY OF SYNTHESIS OF HYDROGENATED DIAMOND-LIKE THIN FILMS BY ION-PLASMA METHOD. Herald of the Kazakh-British Technical University. 2025;22(2):322-332. (In Russ.) https://doi.org/10.55452/1998-6688-2025-22-2-322-332