Для цитирования:

Нусупов К.Х., Бейсенханов Н.Б., Бакранова Д.И., Кейнбай С. СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА ПЛЕНКИ КАРБИДА КРЕМНИЯ, СИНТЕЗИРОВАННОЙ МЕТОДОМ ЗАМЕЩЕНИЯ АТОМОВ. Вестник Казахстанско-Британского технического университета. 2019;16(4):72-78.

For citation:

Nussupov K.Kh., Beisenkhanov N.B., Bakranova D.I., Keiinbay S. STRUCTURAL PROPERTIES OF A SILICON CARBIDE FILM SYNTHESIZED BY THE ATOM SUBSTITUTION METHOD. Herald of the Kazakh-British Technical University. 2019;16(4):72-78. (In Russ.)