Дәйектеу үшін:

 ,  ,  ,   АТОМДЫ АЛМАСТЫРУ ӘДІСІ АРҚЫЛЫ СИНТЕЗДЕЛГЕН, КРЕМНИЙ КАРБИДІ ҚАБЫРШАҒЫНЫҢ ҚҰРЫЛЫМДЫҚ ҚАСИЕТТЕРІ. Қазақстан-Британ техникалық университетінің хабаршысы. 2019;16(4):72-78.

For citation:

Nussupov K.Kh., Beisenkhanov N.B., Bakranova D.I., Keiinbay S. STRUCTURAL PROPERTIES OF A SILICON CARBIDE FILM SYNTHESIZED BY THE ATOM SUBSTITUTION METHOD. Herald of the Kazakh-British Technical University. 2019;16(4):72-78. (In Russ.)