Дәйектеу үшін:

 ,  ,  ,   НАНОӨЛШЕМДІ СФЕРАЛЫҚ БӨЛШЕКТЕРДІ НЫСАНДЫ ИМПУЛЬСТІ ПЛАЗМА АҒЫНДАРЫМЕН ТОЗАҢДАТУ АРҚЫЛЫ ҚАЛЫПТАСТЫРУ. Қазақстан-Британ техникалық университетінің хабаршысы. 2019;16(2):97-101.

For citation:

Zhukeshov A.M., Gabdullina A.T., Amrenova A.U., Mukhamedryskyzy M. THE FORMATION OF NANOSIZED SPHERICAL PARTICLES BY SPUTTERING TARGET WITH PULSED PLASMA FLOWS. Herald of the Kazakh-British technical university. 2019;16(2):97-101. (In Russ.)